DILASE 250 - LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE

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Système de lithographie laser : Dilase 250

Système Tabletop

Système de lithographie laser, Dilase 250 est un équipement compact et polyvalent. Il donne accès à la photolithographie laser à un large domaine de nouvelles applications telles que la microfluidique, la micromécanique ou la photonique. Le Dilase 250 est particulièrement bien adapté au  prototypage rapide, à la fabrication de masque et de microstructures.

DILASE 250 - LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE

Une technologie novatrice

Kloé a développé une nouvelle approche de la photolithographie par laser qui s'appuie sur deux innovations majeures :

  1. L'écriture vectorielle qui assure un rendu parfait des bords d'écriture sans stitching ni rugosité.
  2. Une chaîne de traitement optique spécifique qui induit une grande profondeur de champs et garantit une parfaite stabilité des performances de l'équipement. Cela permet l'écriture dans des couches épaisses de résine avec le même rendu que dans des couches minces.

 

Le tabletop

DILASE 250 - LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE

Grande profondeur de champs

La grande profondeur de champs résultant de la chaine de traitement optique spécifique développée par Kloé, permet d'écrire aussi facilement dans des couches épaisses que dans des couches minces avec la même verticalité des bords et une très faible rugosité.

DILASE 250 - LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE
Performances: 
  • Vitesse d'écriture linéaire : jusqu'à 100mm/s
  • Adresse de grille : 100nm
  • Répétabilité : 100nm
  • Wafers acceptés : de 1 à 4 pouces
  • Épaisseurs de substrat acceptées : de 250µm à 5mm
  • Taille de spot laser (1 ou 2) : de 1µm à 50µm
  • Rapport d'aspect : minimum 10 jusqu'à 20
  • Précision de réalignement : 1µm
Caractéristiques: 
  • Dimensions : 550 x 670 x 700 mm
  • Sources laser disponibles : 375nm et/ou 405nm
  • 1 taille de spot
  • Système de réalignement vidéo
  • Formats de fichier acceptés : DXF, GDSII, LWI
  • Système de focale motorisée
  • Logiciel de design intégré : KloéDesign V.2
  • 3 modes d'écriture : vectorielle, scanning, combinaison des 2
DILASE 250 - LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE

Les logiciels

La suite Logiciel DilaseSoft et KloeDesign équipent en standard toute la gamme commerciale des équipements Dilase.

KloeDesign est un logiciel de dessin assisté par ordinateur. Il vous permet de concevoir rapidement tout type de dessins ou de circuits optiques, microfluidique, microélectronique grâce à une banque de données prédéfinie mise à disposition. De plus, KloeDesign permet d'importer les principaux formats standards de l'industrie, tels que le DXF et le GDSII, afin de s'intégrer rapidement dans votre environnement (chaîne de production).                                                                    

Développé pour piloter les équipements de lithographie de la gamme Dilase, DilaseSoft est le logiciel de pilotage qui assure la production de tout type de designs par écriture laser directe. L'ergonomie et la performance ont guidé le développement de ce support.

Parfaitement adaptée, cette suite logicielle vous apporte des réponses concrètes aux exigences courantes de la microfabrication, du prototypage à la production de série.