DILASE 650 - LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE

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Système de lithographie laser haute résolution: Dilase 650

Le système lithographie laser multifonction

Système de lithographie laser haute résolution, le Dilase 650 offre la possibilité de travailler avec une ou deux tailles de spot à choisir dans une gamme comprise entre 1µm et 50µm. Il permet d’écrire sur tout type de substrat (mask blank, semiconducteur, verre, polymère, cristal, film souple…) sur une surface pouvant s’étendre jusqu’à 6 x 6 pouces.

Gamme Dilase D650

Une technologie novatrice

Kloé a développé une nouvelle approche de la photolithographie par laser qui s'appuie sur deux innovations majeures :

  1. L'écriture vectorielle (combinée à l'écriture par scanning) assurant un rendu parfait des bords d'écriture sans stitching ni rugosité, sans devoir faire de compromis entre qualité de rendu et temps de réalisation.
  2. Une chaîne de traitement optique spécifique induisant une très grande profondeur de champs et garantissant une parfaite stabilité des performances de l'équipement. Une option spécifique permet d'atteindre des rapports d'aspect de 1x40 et donc d'écrire dans des couches très épaisses en une seule passe d'écriture.

 

L’expérience dilase

DILASE 650 - LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE

Haut rapport d'aspect

Dilase 650 est équipé d'une chaîne de traitement optique très spécifique et unique. Cette chaîne développée par Kloé, vous offre la possibilité de réaliser des microstructures à très haut rapport d'aspect 1x40 en une seule passe d'écriture de la même manière que dans des couches minces.

DILASE 650 - LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE
Performances: 
  • Vitesse d'écriture linéaire : jusqu'à 500mm/s
  • Adresse de grille : 100nm
  • Répétabilité : 100nm
  • Wafers acceptés : de 1 à 6 pouces
  • Épaisseurs de substrat acceptées : 250µm à 10mm
  • Taille de spot laser (1 ou 2) : de 1µm à 50µm
  • Rapport d'aspect : minimum 10 jusqu'à 40
  • Précision de réalignement : 500nm
Caractéristiques: 
  • Dimensions : 1270 x 970 x 1650 mm
  • Sources laser disponibles : 375nm et/ou 405nm
  • 1 ou 2 taille de spot
  • Système de réalignement vidéo
  • Formats de fichier acceptés : DXF, GDSII, LWI
  • Système de focale motorisée
  • Logiciel de design intégré : KloéDesign V.2
  • 3 modes d'écriture : vectorielle, scanning, combinaison des 2
DilaseSoft et Kloé Design

Les logiciels

La suite Logiciel DilaseSoft et KloeDesign équipent en standard toute la gamme commerciale des équipements Dilase.

KloeDesign est un logiciel de dessin assisté par ordinateur. Il vous permet de concevoir rapidement tout type de dessin ou de circuit optique, microfluidique, microélectronique grâce à une banque de données prédéfinie mise à disposition. De plus, KloeDesign permet d'importer les principaux formats standards de l'industrie, tels que le DXF et le GDSII, afin de s'intégrer rapidement dans votre environnement (chaîne de production).                                                                    

Développé pour piloter les équipements de lithographie de la gamme Dilase, DilaseSoft est le logiciel de pilotage qui assure la production de tout type de designs par écriture laser directe. L'ergonomie et la performance ont guidé le développement de ce support.

Parfaitement adaptée, cette suite logicielle vous apporte des réponses concrètes aux exigences courantes de la microfabrication, du prototypage à la production de série.