DILASE 750 - LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE

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Système de lithographie laser customisable

Ecriture directe par laser sur mesure

Système de lithographie laser customisable, le Dilase 750 offre la possibilité de travailler avec un, deux ou trois laser d’écriture sur une, deux ou trois tailles de spot à choisir dans une gamme comprise entre 0,5µm et 50µm. Il permet d’écrire sur tout type de substrat (mask blank, semiconducteur, verre, polymère, cristal, film souple…) sur une surface de travail standard de 6"x 6",

DILASE 750 - LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE

Une technologie novatrice

Dilase 750 peut être équipé de 1 à 3 lasers pouvant tous fonctionner avec 1, 2 ou 3 tailles de spot.

La plus petite taille de spot proposée fait 500nm bénéficiant toujours d'une grande profondeur de champ et des modes d'écriture vectorielle, scanning ou combinaison des deux.

Le transfert de ligne ou de laser est automatique en quelques secondes et ne nécessite aucune intervention manuelle. Dilase 750 est équipé d'une arche optique robuste et stable.
Elle vous permet de réaliser des structures submicroniques sur l'ensemble de la surface de travail centrée pouvant s'étendre jusqu'à 12"x 12".

L’expérience dilase

DILASE 750 - LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE

Haute résolution

Dilase 750 est équipé d'une arche optique robuste et stable. Elle vous permet de réaliser des structures submicroniques sur l'ensemble de la surface de travail pouvant s'étendre jusqu'à 6"x 6".

DILASE 750 - LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE
Performances: 
  • Vitesse d'écriture linéaire : jusqu'à 350mm/s
  • Adresse de grille : 40nm ou 100nm
  • Répétabilité : 100nm
  • Wafers acceptés : de 1 à 12 pouces
  • Épaisseurs de substrat acceptées : 250µm à 10mm
  • Taille de spot laser (1 ou 3) : de 0,5µm à 100µm
  • Rapport d'aspect : minimum 10 jusqu'à 40
  • Précision de réalignement : 500nm
Caractéristiques: 
  • Dimensions : 1801 x 1204 x 1790 mm
  • Sources laser disponibles : 325, 375nm,405nm et 445 nm
  •  1 à 3 tailles de spot
  • Système de réalignement vidéo
  • Formats de fichier acceptés : DXF, GDSII, LWI
  • Système de focale motorisée
  • Logiciel de design intégré : KloéDesign V.2
  • 3 modes d'écriture : vectorielle, scanning, combinaison des 2
DilaseSoft

Les logiciels

La suite Logiciel DilaseSoft et KloeDesign équipent en standard toute la gamme commerciale des équipements Dilase.

KloeDesign est un logiciel de dessin assisté par ordinateur. Il vous permet de concevoir rapidement tout type de dessin ou de circuit optique, microfluidique, microélectronique grâce à une banque de données prédéfinie mise à disposition. De plus, KloeDesign permet d'importer les principaux formats standards de l'industrie, tels que le DXF et le GDSII, afin de s'intégrer rapidement dans votre environnement (chaîne de production).                                                                    

Développé pour piloter les équipements de lithographie de la gamme Dilase, DilaseSoft est le logiciel de pilotage qui assure la production de tout type de designs par écriture laser directe. L'ergonomie et la performance ont guidé le développement de ce support.

Parfaitement adaptée à un mode d'exploitation multi-utilisateurs, cette suite logicielle vous apporte des réponses concrètes aux exigences courantes de la microfabrication, du prototypage à la production de série.