UV KUB 3 - ALIGNEUR DE MASQUE UV

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Aligneur de masque : UV‑KUB 3

1er système compact à LED UV

Aligneur de masque, l'UV-KUB 3 est le premier système d'alignement de masque équipé d'une source LED UV sur le marché international

Compact, simple d'utilisation et performant, l'UV-KUB 3 autorise l'alignement de masque 5" avec des substrats jusqu'à 100mm² dans l'encombrement contenu d'un cube de seulement 47.5 cm de côté.

UV KUB 3 - ALIGNEUR DE MASQUE UV

Une nouvelle approche de l'alignement de masque

L'UV-KUB 3 est un équipement de laboratoire particulièrement adapté à la réalisation de systèmes microfluidiques, de circuits optiques intégrés et de microélectroniques par photolithographie. Sa conception rend possible la réalisation de microstructures inférieures à 2µm sur toute la surface de travail de 4" avec une précision d'alignement inférieur à 3 µm.

Bénéficiant des dernières avancées de la technologie d'insolation à LED UV de l'UV-KUB 2, la source d'illumination de l'UV-KUB 3 est dépourvue d'effets thermiques indésirables et parfaitement monochromatique. La durée de vie des LED (>10000h) qui constituent la source UV en fait un équipement fiable, ne nécessitant pas de maintenance particulière.

Au delà de sa taille réduite au minimum, sa structure porteuse interne le dispense de la nécessité d'une table anti-vibratoire, associé à une consommation électrique réduite, l'UV-KUB 3 est l'outil idéal pour maîtriser les coûts d'exploitations.

Entièrement sécurisé grâce à son capotage hermétique à la poussière, cet équipement constitue la seule solution du marché qui démocratise la photolithographie de précision sans exiger un environnement de type salle blanche.

UV-KUB : La génération LED

UV KUB 3 - ALIGNEUR DE MASQUE UV

Une utilisation simple et performante

Avec l'UV-KUB 3 réalisez en quelques minutes des alignements de masque précis à moins de 3µm grâce au joypad de contrôle ergonomique ou à l'aide de l'interface tactile dynamique et intuitive.

 

 

Performances: 
  • Résolution: 2µm
  • Taille de masques acceptés: Ø 5" (Ø2" en option)
  • Taille des substrats: Ø2"- Ø4" et 50x50mm - 100x100mm
  • Résolution du système de visualisation: 3µm (1,5 µm en option)
  • Résolution mesure distance masque/substrat: 0,5 µm
  • Résolution déplacement substrat θ: 5.10-4°
  • Résolution déplacement substrat XYZ: 0,4 µm (0,2 µm en option)
  • Longueur d'onde : 365nm ou 405nm
  • Densité de puissance : 35mW/cm²
  • Echauffement de l'échantillon pendant l'insolation : < 1° C
  • Cycle d'insolation : entre 1s et 18h
  • Nombre de cycles mémorisables : > 100
Caractéristiques: 
  • Dimensions: 475  x 475  x 478 mm
  • Poids: 55 kg
  • Contrôle des déplacements: Joypad USB ou sans fil 24 touches
  • Ecran tactile couleur: 15.6 pouces
  • Alimentation : 110V/230V - 50Hz/60Hz
  • Consommation : 180W